ガルバノミラー(Galvo)は、高精度のビーム走査ミラーです。ミラーの角度を高速かつ高精度に制御することで、レーザーの伝播方向を動的に変化させ、高速走査や位置決めを可能にします。
| 基板材料 | シリコン(Si)、石英(JGS1)、H-K9Lなど |
|---|---|
| コーティングの種類 | アルミニウムコーティング(450nm-20μm) 銀コーティング(450nm-20μm) 金コーティング(800nm-20μm) UV強化アルミニウムコーティング(250~450nm) |
| 反射率 | > 99.0% |
| スキャン角度 | ±5°~±50° |