ガルバノミラー(ガルボミラー)は、高精度なビーム走査ミラーです。ミラーの角度を高速かつ高精度に制御することで、レーザー光の伝搬方向を動的に変更でき、高速走査や位置決めが可能になります。
| 基材 | シリコン(Si)、石英(JGS1)、H-K9Lなど。 |
|---|---|
| コーティングの種類 | アルミニウムコーティング(450nm~20μm) 銀コーティング(450nm~20μm) 金コーティング(800nm~20μm) UV強化アルミニウムコーティング(250~450nm) |
| 反射率 | 99.0%以上 |
| スキャン角度 | ±5°~±50° |