光学ミラー

ガルバノミラー

ガルバノミラー (Galvo) は、高精度のビーム走査ミラーです。ミラーの角度を迅速かつ正確に制御することにより、レーザーの伝播方向を動的に変更することができ、迅速な走査や位置決めが可能になります。

仕様ガルバノミラー

基板材料	シリコン(Si)、溶融石英(JGS1)、H-K9Lなど
コーティングの種類	アルミニウムコーティング (450nm-20μm) シルバーコーティング(450nm～20μm) ゴールドコーティング(800nm～20μm) UV強化アルミニウムコーティング (250-450nm)
反射率	> 99.0%
走査角度	±5°～±50°

代表的な応用分野

レーザー加工

これはスキャニングミラーの最も古典的な用途です。レーザーマーキング、彫刻、切断、穴あけでは、XY 検流計で構成されるスキャニングヘッドがレーザービームを誘導して、高速かつ高精度で平面上に任意の形状を「描画」することができ、加工効率と精度が大幅に向上します。
自動車用LiDAR

これは、近年人気のスキャニングミラーの用途です。コアスキャンコンポーネントとして、レーザービームを誘導して高速振動を通じて周囲環境をスキャンし、自動運転車が複雑な道路状況をより正確に認識できるようにします。
科学研究と光通信

生物学イメージング、量子光学研究、および自由空間光通信では、光ビームの方向を迅速かつ正確に操作するために、スキャンミラーも頻繁に使用されます。