検査機器

ZEISS CMMスペクトラム

ZYGOレーザー干渉計

6インチレーザー干渉計

アジレント キャリー 7000 UMS

白色光干渉計

日立 U-4100 分光光度計

中心偏差測定器

パントメーター

表面形状測定装置